イオンビームで探る表面の世界
物質表面に高速イオンを入射すると、相互作用によりエックス線や電子、粒子が放出されます。これらを測定して表面の特性を解明する手法は、電子デバイス検査、生物試料分析、文化財の非破壊検査など多岐にわたる分野で応用されています。本講演では、イオンビーム分析の基本的な仕組みを概説するとともに、具体的な表面分析の応用例を紹介します。
物質表面に高速イオンを入射すると、相互作用によりエックス線や電子、粒子が放出されます。これらを測定して表面の特性を解明する手法は、電子デバイス検査、生物試料分析、文化財の非破壊検査など多岐にわたる分野で応用されています。本講演では、イオンビーム分析の基本的な仕組みを概説するとともに、具体的な表面分析の応用例を紹介します。